聚焦离子束扫描电镜双束系统（FIB-SEM）是一种先进的显微期间，它长入了扫描电镜（SEM）的高折柳率成像能力和聚焦离子束（FIB）的微纳加工能力，使其在材料科学究诘和半导体芯片诞生等规模获得平淡应用。以下是FIB-SEM在材料究诘中的几种应用：

1. 定点剖面描写和身分分析：

通过FIB-SEM期间，不错在材料的特定区域进行精果真割，创建截面，以便进行描写和身分分析。

举例，关于CdS微米线，FIB-SEM粗略在微米线节点处切割并成像，揭示里面含有Sn球的结构。

CdS微米线节点处的剖面描写和身分散布

2. 透射电镜（TEM）样品制备：

FIB-SEM粗略制备TEM样品，通过一系列才略，包括千里积保护层、挖坑、U-cut料理、使用纳米机械手回荡薄片等，最终获得稳妥TEM分析的超薄样品。

FIB-SEM制备TEM样品的惯例才略

这种模式粗略精准地制备出具有特定观念和厚度的TEM样品，如MoS2场效应管的截面样品。

MoS2场效应管的截面TEM

3. 微纳加工：

FIB-SEM可用于制造微纳步伐的图形和结构，如光栅、切仑科夫放射源针尖、三维结构等。

FIB-SEM加工的微纳图形

4. 切片式三维重构：

FIB-SEM粗略通过逐层切割和成像，长入软件料理，杀青材料的三维重构。

多孔材料的重构结构图

5. 材料回荡：

诈欺FIB-SEM的纳米机械手和离子束千里积期间，不错杀青微米级材料的精准回荡和固定。

四针氧化锌微米线的回荡